GM200系列用于RSP200/RSP150 SMIF 的自動開閉
GM200系列用于掩模廠以及代工廠黃光部門
詳細使用請參考網(wǎng)站：
掩模版自動開合機 GM200
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產(chǎn)品描述
GM200系列用于RSP200/RSP150 SMIF 的自動開閉。
GM200 is used for RSP200/RSP150 SMIF POD open and close automatically.
GM200系列用于掩模廠以及代工廠黃光部門。
GM200 is used in mask shop and Photo department in Fabs.
GM200 系列讓掩模版在加工及使用過程中更潔凈。
GM200 makes mask process more convenient and cleaner.
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技術(shù)參數(shù)
主要指標（Critical Parameters） 規(guī)格（Specification） 長/寬/高 (L/W/H) 535mm×420mm×915mm 電源 220V Mask POD RSP200 / RSP150 (二選一，非兼容) 障礙物偵測(防手夾設(shè)計)功能 (選配) 掩模突起偵測功能 (選配) 開關(guān)盒扭力偵測功能 當不正常開關(guān)盒時，會自動停止 遠程控制功能(SECS/GEM) 可支持遠程自動化操控(選配) 軟件擴充功能 可轉(zhuǎn)換為計算機操控畫面(選配)
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產(chǎn)品應(yīng)用
